CM300xi with Loader是一款12英寸全自動晶圓測量探針臺。性能參數完全繼承了CM300xi半自動產品的特性。可以應用于低噪聲IV/CV、射頻微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR測量領域。CM300xi集成了諸多專利技術，全球獨一無二的Contact Intelligence技術滿足極端復雜的環境測量挑戰，如無人值守測量小尺寸Pad以及多個溫度下的測量。提供電磁屏蔽、光密和防凝露的測試環境，在所有的測量應用領域均表現出無論倫比的杰出測量性能。CM300xi產品有屏蔽CM300xi-S和全屏蔽CM300xi-F以及開放式CM300xi-O三個子產品版本。其中配置的前兩者TRIAX卡盤漏電最大分為別3fA和15fA.
配有晶圓處理單元，該單元可以在SEMI標準Wafer盒中配置多達50張8英寸或12英寸晶圓片。
