CM300xi-SiPh是一款12英寸半自動/全自動硅光探針臺，除了具備CM300xi系列的功能外，其在晶圓硅光測量領域的性能無與倫比，且是第一個經過行業驗證過的光電子集成測試解決方案。可在安裝后立即進行生產驗證和最優的光學測量--無需進一步開發。獨創的自主硅光SiPh測量助手提供了一整套完整地創新性校準和對準工具，強大的硅光SiPh工具軟件包，以及所有的工具和夾具，使光子器的測試驗證工作在幾天內可以完成，而不是幾個月或幾年，大大加速了產品的開發驗證周期和上市時間。
CM300xi-SiPh是一款在行業內已經驗證過的集成性能，包括必須的配件、夾具、校準技術、算法等，保障安裝完成后可以開啟正確的測量。超一流的自動校準和對準技術，通過六軸電動調節馬達，光波導探針根據耦合算法自動找光進行對準。CM300xi-SiPh 可配置單根光纖或者光纖陣列Probes,同時具有專門的Z-Displacement Kit用于調節光纖和Wafer的有效距離。豐富地硅光軟件工具包，用于抓取、注冊和分析收集的數據。
