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EPS150FA是一款專為晶圓、器件失效分析,BUG定位而量身定制的6英寸手動探針臺。EPS150FA探針臺配置有高放大倍4000X數的顯微鏡系統,針座移動分辨率<1um,具有極高測量定位能力,可以探測至1um特征尺寸對象。
EPS150FA是一款專為晶圓、器件失效分析,BUG定位而量身定制的6英寸手動探針臺。EPS150FA探針臺配置有高放大倍4000X數的顯微鏡系統,針座移動分辨率<1um,具有極高測量定位能力,可以探測至1um特征尺寸對象。另外配置、升級均十分靈活以滿足晶圓,器件失效分析時的各種應用場景。將EPS150FA探針臺引入晶圓、器件失效分析,可以加速失效分析定位,終極縮短產品研發進程。
200mm手動真空探針臺P
200mm手動低溫探針臺P
200mm半自動真空探針臺
200mm半自動真空或壓力
200mm半自動低溫探針臺
150mm手動真空探針臺P
100mm手動低溫探針臺P
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