TESLA200是一款專為IGBT/Power MOSFET (GaN, SiC, Si)器件在晶圓級測量而設計的新型晶圓功率半導體探測系統。支持高達3 kV(三軸)/ 10 kV(同軸)和200 A(標準)/ 600 A(高電流)的精確測量。
TESLA200是一款專為IGBT/Power MOSFET (GaN, SiC, Si)器件在晶圓級測量而設計的新型晶圓功率半導體探測系統。支持高達3 kV(三軸)/ 10 kV(同軸)和200 A(標準)/ 600 A(高電流)的精確測量。具有抗電弧解決方案,支持工程探針和量產探針卡。TESLA200具有-55°C到300°C全溫范圍測量能力,配置大功率鍍金卡盤,以確保低接觸電阻,薄片處理和功率耗散。安全和方便地集成了主流廠家的半導體功率參數分析儀,同時提供低噪音、完全防護和屏蔽的測試環境,以及經過認證的安全聯鎖系統。